Роль воронежского Научно-исследовательского института полупроводникового машиностроения в сложившихся современных реалиях, когда ставка сделана на создание технического суверенитета страны и развитие электронной промышленности, сложно переоценить. Широкая номенклатура специального технологического оборудования для производства изделий микроэлектроники, разработчиком и изготовителем которого является НИИПМ, востребована как никогда. И перед предприятием стоят еще более амбициозные задачи, что было отмечено во время визита заместителя председателя Правительства РФ – министра промышленности и торговли Дениса Мантурова.
Тогда он заявил, что, опираясь на научно-технический и производственный потенциал региона при тесном взаимодействии с Минпромторгом, можно эффективно реализовывать проекты любой сложности и обеспечить отечественный рынок к 2030 году российской электронной продукцией не менее, чем на 70%.
– Мы активно используем федеральные меры господдержки и тесно сотрудничаем с Минпромторгом. Причем на всех этапах – от разработки до реализации продукции. Это позволило нам за последние два года многократно увеличить объемы производства, – рассказывает генеральный директор НИИПМ Вячеслав Тупикин. – В цифрах это выглядит так: объем производства и поставок специального технологического оборудования в 2022 году увеличен в 1,8 раза, а в 2023 году – в 3,5 раза. Портфель заказов на 2024 уже сформирован, идет работа над созданием задела на 2025-2026 годы. И перспективы здесь весьма хорошие.
Исторически сложившаяся еще со времен СССР специализация института практически не изменилась. Фотолитография, химическая обработка пластин и фотошаблонов, плазмохимическая обработка, контрольно-измерительное и испытательное оборудование – направления, которые и сегодня лежат в основе деятельности НИИПМ. Причем из года в год развивая их, институт создал себе имя и завоевал лидирующие позиции в отрасли. Во все времена, даже когда экономическая ситуация в стране позволяла работать только на задел, на предприятии занимались повышением технического уровня, развитием творческой активности сотрудников и созданием условий для эффективного инновационного развития в целом.
Технологии фотолитографии и оборудование для их реализации определяют достигнутый уровень развития микроэлектроники и электронного машиностроения в стране. Сейчас российские предприятия отрасли могут производить продукцию по топологическим нормам 130 нм. Федеральными программами развития электроники определено, что в 2026 году топология составит 65 нм, в 2030 – 28 нм. Особое место здесь занимает создание фотолитографического оборудования кластерной конфигурации, первые образцы которого были созданы НИИПМ еще в 2003 году. Кластерные линии фотолитографии представляют собой высокотехнологичное оборудование для выполнения этапов формирования фоторезистивной маски – отмывки пластин, обработки промотором адгезии, нанесения фоторезиста, сушки, термостабилизации, проявления.
В 1980-х годах НИИПМ имел около 20 тематических направлений, обеспечивающих полный спектр потребностей специального технологического оборудования кристального и сборочного производств. Учитывая знания и компетенции института, одной из перспективных задач является освоение новых тематических направлений, которые позволят в дальнейшем обеспечивать отрасль необходимым специальным технологическим оборудованием.
Одним из таких направлений деятельности института является освоение в производстве оборудования, необходимого для производства пластин из карбида кремния: оборудование роста, шлифовки, полировки, эпитаксии и др. Данное оборудование необходимо для создания силовой электроники нового поколения. Использование технологий с применением карбида кремния – это революция промышленной эффективности. Импортозамещение и внедрение новых технологических процессов – путь прогресса и получения технического и технологического суверенитета страны. Говоря о работе на территории Воронежской области предприятий радиоэлектронного комплекса, важно отметить создание в регионе кластера радиоэлектронной промышленности. Это существенный шаг, думаю, он даст новый импульс развитию внутриобластной кооперации и созданию десятка тысяч дополнительных рабочих мест.
– Институт является участником государственной программы развития электронной промышленности, в рамках которой выполнен проект по разработке кластерных линий фотолитографии с концепцией объединения всех операций формирования фоторезистивной маски в едином модуле, – рассказывает заместитель генерального директора по научно-техническому развитию и науке Виталий Лачугин. – Разработанные фотолитографические кластеры могут быть выполнены в нескольких модификациях, позволяют либо интегрироваться со степпером, либо работать автономно. И то, и другое имеет свои преимущества, а поэтому востребованы потребителями. Также в рамках программы развития электронной промышленности институтом разработаны кластерные линии для индивидуальной жидкостной химической обработки пластин диаметром до 200 мм.
НИИПМ разработано конкурентоспособное оборудование на уровне, удовлетворяющем спрос заказчиков.
Высоким спросом на сегодняшний день пользуется контрольно-испытательное и стендовое оборудование, предназначенное для проведения климатических испытаний элементной компонентной базы (ЭКБ).
Сложность производимого оборудования настолько велика, что требует не только слаженной работы всех подразделений института, но и знаний технологических процессов производства ЭКБ. Сегодня серийно выпускаются порядка тридцати наименований специального технологического оборудования, разработанного с учетом специфических требований заказчика.
Спектр изделий под маркой НИИПМ весьма широк. Он представлен автоматизированными линиями химического травления и химического нанесения металлических слоев, оборудованием гидромеханической и мегазвуковой очистки пластин, фотошаблонов, керамических и стеклянных подложек. Также институтом производится плазмохимическое оборудование и многое другое.
И все же главное – кадры, считают в институте.
– Одним из приоритетных направлений своей работы НИИПМ считает вопрос подготовки кадров. Особое место в этой сфере деятельности занимает многолетнее сотрудничество с ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники» (МИЭТ), – отмечает Вячеслав Тупикин. – За время работы с МИЭТ обучение прошли и обучаются в настоящее время 37 человек, из которых 25 человек после окончания обучения продолжают работу в НИИПМ. Институт сотрудничает с шестью региональными вузами по подготовке кадров с высшим образованием и двумя профессиональными образовательными организациями по подготовке рабочих профессий. Мы отлично осознаем, что молодежь – это будущее НИИПМ, который для многих из нас стал смыслом жизни, здесь реализовываются наши идеи, раскрывается научный и производственный потенциал. Верим, что у нашего института впереди новые интересные и важные для нашей страны работы, направленные на реализацию развития отрасли.
Ирина ПОЛУЭКТОВА
24 апреля 2024 года, Промышленные вести.
